键合机

系统特点：阳极键合@≤1200V、满足定制化小样品键合、键合气压≥50Torr、可调节性施加外部压力、温度≤250℃、不通气氛下键合、可实现气氛下手动对准功能、整片键合可定制、高温条件可定制