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微纳加工刻蚀设备
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RIE系列反应离子刻蚀系统
微纳加工设备-RIE系列反应离子刻蚀系统_副本
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RIE系列反应离子刻蚀系统
系统特点: 反应离子、水冷、自动化工艺、多路气体等,可根据需求进行定制化生产。
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前一个:
键合机
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后一个:
ICP系列高密度等离子刻蚀系统
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